Sign in to follow this  
Followers 0

Prüfung zu Prozesstechnologien der Miktroelektronik?

4 posts in this topic

Posted

Kann mir vielleicht jemand sagen wie Prof. Strasser das prüft?

Auf was legt er wert bzw. wie läuft die Prüfung ab?

danke

mfg Burger

Share this post


Link to post
Share on other sites

Posted

und weiß vielleicht irgendwer, ob man die prüfung auch jetzt in den ferien machen kann?

Share this post


Link to post
Share on other sites

Posted

Ich hab die Prüfung letztes Jahr in den Sommerferien gemacht. Einfach bei ihm melden und Termin ausmachen.

Prof. Strasser legt hauptsächlich wert auf einen guten Überblick über die gesamte Thematik, Formeln sind ihm nicht so wichtig. Also Prozessabläufe verstehen, wissen wo welcher Prozess idealerweise zur Anwendung kommt, etc.

Share this post


Link to post
Share on other sites

Posted

Ich habe die Prüfung gerade abgelegt.

Eingeleitet wurde die Prüfung mit der Frage "Was wissen Sie über die Prozesstechnologien in der Mikroelektronik?"

Wir hatten dann ein recht angenehmes Gespräch über die Prozessschritte und die einzelnen Technologien (bis inklusive NIL). Seine Fragen gingen kaum in die Tiefe, Formeln oder so etwas kamen gar nicht vor.

Eine peinliche Pause entstand bei der Frage "Was wird als Maskenmaterial verwendet" bzw "Wo ist das Problem bei deepUV, warum verwendet man 195nm Licht, und nicht weniger". Das hat er zwar in der Vorlesung lang und breit erklärt, diese Erinnerung wurde bei mir aber vom restlichen Stoff verdeckt und in den verschickten Foliensätzen waren die zugehörigen Bilder nicht mehr dabei.

Antwort ist:

Der Quarz, der als Trägermaterial für die metallische Maske verwendet wird hat einen spektralen verlauf des Transmissionskoeffizienten, der bei c.a. 200nm (wars glaub ich) stark abknickt. Ohne Trägermaterial ist keine halbwegs billige Herstellung möglich, weil die Maske durchhängt bzw. das Doughnut-Problem auftritt.

In Summe war das eine besonders angenehme und witzigerweise auch noch informative Prüfung. Den Lernaufwand braucht man nicht zu übertreiben. Durchlesen und das wichtigste vielleicht ein bisschen herausschreiben reicht da vollkommen.

Share this post


Link to post
Share on other sites

Create an account or sign in to comment

You need to be a member in order to leave a comment

Create an account

Sign up for a new account in our community. It's easy!


Register a new account

Sign in

Already have an account? Sign in here.


Sign In Now
Sign in to follow this  
Followers 0